真空泵维修应经带保持清洁,真空泵上不得放置其它物件,
注意皮带松紧是杏适当.必要时应调整或更换,
应每年定期更换了1~3次真空泵油)。真空熔炼用的机械真空泵,每月可能换油多坎。这是由干真空泵在使用过程中,真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化,影晌真空泵的性能,因此,需要根据具体情况定期换油。
工作环境更好,环境影响低:
安静运转
操作简单:
智能且易于使用控制
无污染且不需要处理油:
采用密封结构,实现了无润滑剂真空环境
低拥有 成本:
长维修间隔和低功耗
更快的制程:
出色的蒸汽处理能力
有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障,为了节约成本就会拿去维修,也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵,只一味的注重价格。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以,原因也是一样的,只是为了让真空泵的散热性能更好,尽可能的降低真空泵的工作温度。耗材及时更换。其中的又是:油雾分离器(排气滤芯)和油。这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第yi时间更换!油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养,要全部更换真空泵油
适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP
IPUP2:紧凑型低能量的 180m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。
IPUP2 小巧轻便,适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中,从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间,同时程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率,从而降低使用成本, 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上使用, 可提高处理能力,同时减少能耗。
3 万亿次循环 MTBF
与原始 IPUP? 相比,速度 提高 50%,能耗降低 70%
提供适用于现有 IPUP? 的 插入式替换部件
真空泵维修不仅是单纯的零件更换,还涉及真空泵转子,叶片,轴位等精度高,难度大的修复工序,对于零件安装也是真空泵维修技术范围之内,这些因素都决定着真空泵维修后真空泵能否按之前的技术进行运转,所以选择好的真空泵维修厂家至关重要。
真空泵才能正常运转。另外, 启动新泵或真空泵有相当一段时间没有运行时, 还应在泵启动后检查油位是否有轻微下降(3~ 5 mm ) , 这个下降表明泵是带油启动。当发现油位不在工作刻线范围内时,应及时注油至工作刻线范围内。
以上信息由专业从事爱发科真空泵维修工厂的东欧真空于2024/4/27 10:21:59发布
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